庫卡潔凈機器人二軸減速機更換

      庫卡潔凈機器人每一個軸都采用了易于清潔的特殊表面以及專用底漆、密封件和涂層。它們符合 ESD 標(biāo)準(zhǔn)，并由弗勞恩霍夫研究所 IPA 進(jìn)行了凈室適用性檢驗。英飛凌曾采購了17臺庫卡潔凈機器人用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線。

庫卡潔凈機器人二軸減速機更換

      許多硅晶片的厚度在 40 微米以內(nèi)，比頭發(fā)絲還細(xì)，而直徑卻在 15 到 30 厘米之間，輕輕一碰，就會碎，這些敏感硅晶片變成芯片，需要在生產(chǎn)過程中經(jīng)過高達(dá) 1200 個流程步驟，并且每次都要將它們運輸?shù)搅硪粋€自動化加工站。