三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

 

       收到一套三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手，本體0190-52910，控制柜0190-46909。

       客戶說發(fā)生了撞機，沒能檢查出原因。長科維修師傅經(jīng)過拆機檢查，上電檢測，最終鎖定異常，原因是三軸電機編碼器和控制柜通訊板發(fā)生了故障。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

 

半導(dǎo)體機器人可參與的工作內(nèi)容：

1、晶圓粗研磨（雙面機械拋光）

半導(dǎo)體機器人將晶圓放置在上下研磨夾具之間，晶圓進行旋轉(zhuǎn)，同時研磨機對研磨夾具內(nèi)進行磨料送料，進行兩面拋光。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

 

2、晶圓氧化處理

半導(dǎo)體機器人將晶圓放置在擴散爐中進行熱處理，通過高溫氧化處理使晶圓表面形成氧化層。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

 

3、晶圓清洗

半導(dǎo)體機器人將晶圓放置在清洗臺上，用化學(xué)藥劑和超純水清洗晶圓，以進行下一步高潔凈度、高良率的芯片制造制程。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

 

4、晶圓檢查

半導(dǎo)體機器人將晶圓放置在晶圓AOI檢測器里，對晶片表面進行光學(xué)外觀檢查，檢查晶圓的平整度、厚度與氧化膜厚度。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機械手0190-52910

5、晶圓包裝

半導(dǎo)體機器人將晶圓進行保護膜覆膜，并將覆膜完成的晶圓被放置在晶圓運輸箱中。